痕量爆炸物爆燃探测敏感元件的结构设计

• 作者: 孔德义 汪小华 诸建彬 齐永光
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 痕量爆炸物 爆燃 硅梁
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2862字
• 语种: 中文

摘要

通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结果表明,该硅梁升温迅速且温度分布均匀,能实现对纳克量级梯恩梯的检测.该项工作为下一步采用MEMS技术制作该硅梁敏感结构,进而研制新型便携式爆炸物探测器奠定了良好的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪小华	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	21	332	10.0	18.0
2	孔德义	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	32	283	7.0	16.0
3	齐永光	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	3	17	2.0	3.0
7	诸建彬	中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0