聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

• 作者: 刘同娟 顾文琪 马向国
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 液态金属离子源 微纳加工技术
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 真空应用
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 5671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.018

摘要

聚焦离子束(FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它突破了只能对表层成像和分析的局限,可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以对样品材料进行切割研磨和沉积特定材料,用它可以获得以前无法得到的样品信息.从而为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马向国		34	173	6.0	12.0
2	刘同娟		37	140	6.0	11.0
3	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0