Emerson推出新型Brooks系列高纯度涡轮蒸汽器系统

• 来源期刊: 世界仪表与自动化
• 学科: 航空航天
• 关键词: 蒸汽 系统 涡轮 纯度 液体喷射 光学镀层 催化剂生产 过程管理
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 77
• 页数: 1页
• 分类号: V232.4

摘要

近日．Emerson过程管理部推出Brooks／MSPModel 2820型涡轮蒸汽器系统．用于优质水滴和直接液体喷射（DLI）蒸汽的实现。这种新型模型被设计来从液体反应物中产生高纯度的蒸汽，这种液体反应物需要薄膜沉积作用．其应用范围包括半导体膜、化学研究、催化剂生产、光导纤维、光学镀层、工业化镀层和燃料电池中。