碳纳米管在MEMS微电极中的应用研究

• 作者: 侯中宇 张亚非 徐东 蔡炳初 魏星
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 薄膜 丝网印刷 微电极 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.1+8
• 字数: 2657字
• 语种: 中文

摘要

采用丝网印刷技术,将配制好的碳纳米管浆料涂敷到金属衬底上,形成碳纳米管薄膜,用四探针仪及表面轮廓仪分别测量了薄膜的方块电阻和表面粗糙度.结果表明,将碳纳米管球磨1 h,以质量比10%～12%与有机溶剂混合配制成浆料,丝网印刷后在真空烘箱内加热至100℃,干燥1 h,最后350℃烧结40 min,所获得的碳纳米管薄膜具有较好的导电性和较平整的表面.根据测量结果,优化了工艺参数,并结合微细加工技术获得了碳纳米管MEMS微电极.