热蒸发分解法制备多晶氧化锌薄膜以及性能分析

• 作者: 吴晓京 张昕 王云涛 顾小宝
• 来源期刊: 复旦学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 材料科学 ZnO薄膜 p型半导体 热蒸发分解
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 65-69,75
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0427-7104.2007.01.011

摘要

以Zn(CH3COO)2·2H2O为蒸发源,利用热蒸发分解法在Si衬底上沉积了多晶ZnO薄膜.使用多种分析测试手段(XRD,SEM,PL,霍尔效应)对不同的衬底温度下得到的ZnO薄膜的物理性质及结构特征进行分析表征.ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,但在高角度时可以观察到衍射峰的分裂,表明ZnO薄膜中结构的非均一性.所得到的ZnO薄膜在蓝光波段具有强烈的受激发射.霍尔效应测量显示在衬底温度低于480 ℃时,薄膜为空穴导电(p-type),而高于480 ℃时,为电子导电(n-type).在不同衬底温度下,薄膜表面具有不同形貌特征.还探讨了对于ZnO薄膜的热蒸发分解法的成膜机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张昕	复旦大学材料科学系	7	83	3.0	7.0
2	吴晓京	复旦大学材料科学系	22	241	5.0	15.0
3	王云涛	复旦大学材料科学系	1	5	1.0	1.0
4	顾小宝	复旦大学材料科学系	2	5	1.0	2.0