ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展

• 作者: 吴炜 崔春阳 徐广文 李春梅 江雪 谭天亚 郭永新
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电薄膜 ZnO 制备方法 电阻率 透射率.
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 334-338
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 5021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2007.04.015

摘要

ZnO基透明导电薄膜与掺锡氧化铟薄膜(ITO)相比,不仅性能与其相似,还具有ITO很多无法比拟的优点.因此,制备ZnO基透明导电薄膜成为当今研究热点.综述了ZnO基透明导电薄膜制备方法的研究进展,并对各自的优缺点进行了讨论.