一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计

• 作者: 冯飞 杨广立 熊斌 王跃林
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 热时间常数 噪声等效温差 光读出红外成像阵列器件
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 327-330,337
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 2315字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.03.007

摘要

提出了一种具有"双材料梁-微镜一体化"特征结构的光读出红外成像阵列器件.该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能.通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计.理论计算表明,其关键性能指标的热一机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3 rad/K和2.94 mK.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊斌	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	54	412	11.0	16.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	冯飞	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	15	52	5.0	6.0
4	杨广立		2	5	2.0	2.0