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采用电弧和磁控溅射混合工艺的氧化铝涂层技术及应用
采用电弧和磁控溅射混合工艺的氧化铝涂层技术及应用
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摘要：
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射频磁控溅射法制备氧化铝涂层绝缘性能及吸氢特性
氧化铝涂层
绝缘性能
吸氢
大气和低压等离子喷涂氧化铝涂层
大气等离子喷涂(APS)
低压等离子喷涂(LPPS)
氧化铝涂层
不同氧化铝粉末等离子喷涂氧化铝涂层的性能
氧化铝粉末
大气等离子喷涂
涂层性能
磁控溅射技术进展及应用(下)
磁控管
溅射率
非平衡磁控溅射
闭合场非平衡磁控溅射
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期刊影响力
工具技术
主办单位：
成都工具研究所有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-7008
CN：
51-1271/TH
开本：
大16开
出版地：
成都市府青路二段24号
邮发代号：
62-32
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
9497
总下载数（次）
13
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