合金元素(Ti,Cr,Ni)对IBAD制备的碳膜性质的影响

• 作者: 关凯书 李璞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助沉积技术(IBAD) 碳膜 结合强度 合金元素
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2612字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.007

摘要

本文采用离子束辅助沉积技术(IBAD)制备一系列碳膜,重点分析添加合金元素(Ti,Cr,Ni)对薄膜性质的影响.实验结果表明:添加Ti,Cr,Ni元素对碳膜厚度,硬度无明显影响,但提高了薄膜的结合强度,其中加入Ni后,薄膜的结合强度最好;添加合金元素可以显著减小碳膜的摩擦系数;添加Ti元素碳膜的组织以非晶态为主,与纯碳膜相当.相对于类金刚石薄膜,本实验制备的碳膜试样更接近于类石墨膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关凯书	华东理工大学化工机械研究所	81	850	17.0	25.0
2	李璞	华东理工大学化工机械研究所	6	62	3.0	6.0