表面处理对p-GaN欧姆接触特性的影响

• 作者: Zhao Desheng 张书明 张宝顺 朱建军 杨辉 段俐宏 赵德刚 赵德胜
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 王水 p-GaN Ni/Au XPS 比接触电阻率
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 545-547
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+3
• 字数: 1341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.139

摘要

研究了王水溶液对p-GaN欧姆接触特性的作用.在蒸镀欧姆电极之前采用王水溶液对表面进行处理,使p-GaN的比接触电阻从8×10-3降低到2.9×10-4Ω·cm2.利用X射线光电子谱(XPS)对p-GaN表面氧含量进行分析,结果表明王水可以有效地去除p-GaN表面的氧化物,从而改善p-GaN的欧姆接触特性.