微测辐射热计的优化设计

• 作者: 吴志明 文雯 李素 杨晓瑜 蒋亚东
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微测辐射热计 优化设计 红外吸收率 热性能 力学支撑性能
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 1171-1174
• 页数: 4页
• 分类号: TN21
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.04.012

摘要

针对典型的50 μm×50 μm双层微桥结构的微测辐射热计单元的设计,分析了其红外吸收性能、热性能、力学支撑性能及相互间的折衷关系,指出微桥桥面的夹层结构的各层膜厚选取和桥腿宽度的选取是兼顾红外吸收和热、力性能的关键因素.以Si3N4/VOx/ Si3N4膜系为例对微桥进行了优化设计,获得了理论上最佳的夹层结构膜厚和桥腿宽度,得到时间常数20 ms和8-14 μm波段有80 %以上红外吸收率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴志明	电子科技大学光电信息学院	78	544	13.0	17.0
2	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院	318	2024	18.0	25.0
3	文雯	电子科技大学光电信息学院	10	71	5.0	8.0
4	李素	电子科技大学光电信息学院	4	35	4.0	4.0
5	杨晓瑜	电子科技大学光电信息学院	3	23	3.0	3.0