脉冲激光弯曲成形技术中硅片表面的形貌分析

• 作者: 吴东江 曹先锁 王续跃 赵福令 郭东明 马广义
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光加工 弯曲成形 表面形貌 晶相
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1589-1593
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 3122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.11.026

摘要

对长脉宽脉冲激光弯曲后的硅片试件进行了表面形貌以及晶相等特性分析.结果表明,激光作用于硅片表面后形成了三种特殊区域,分别为边缘区域、过渡区域、主作用区域.其中过渡区域和主作用区域变化比较明显,分别出现了堆积层错现象和波纹状形貌.对主作用区域进行拉曼光谱检测,分析谱图没有发现典型的非晶硅转变,只是存在微弱的Si-Ⅰ→Si-Ⅲ转化.利用X射线定向仪检测原始和激光作用后表面的晶向,发现激光作用区域晶向变化较明显,存在晶体畸变和晶粒细化现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵福令	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	84	1155	19.0	30.0
2	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
3	吴东江	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	63	533	14.0	20.0
4	马广义	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	42	204	8.0	12.0
5	王续跃	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	87	426	10.0	15.0
6	曹先锁	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	128	4.0	4.0