一种基于多孔硅微腔光学特性的气体传感器的研究

• 作者: 张乐欣 张冉 朱丹丹 李志全 杨红艳 白志华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅微腔 种类辨别 传输矩阵 Bruggeman介电常数近似理论 毛细冷凝 反射谱
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.01.013

摘要

当有机物分子吸附到多孔硅表面时,由于有机物分子在多孔硅的孔内的毛细冷凝作用,将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱吸收峰峰位的变化.本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的传感模型.使用多孔硅微腔的反射谱实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,结果证明多孔硅微腔传感元件可以实现对有机物蒸汽的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志全	燕山大学仪器科学与工程系	201	1342	17.0	24.0
2	朱丹丹	燕山大学仪器科学与工程系	35	255	9.0	14.0
3	杨红艳	燕山大学仪器科学与工程系	9	35	3.0	5.0
4	张乐欣	燕山大学材料科学与工程学院亚稳材料国家重点实验室	19	97	6.0	8.0
5	张冉	燕山大学仪器科学与工程系	6	40	4.0	6.0
6	白志华	燕山大学仪器科学与工程系	2	33	2.0	2.0