看板在晶圆厂清洗-炉管间的派工应用及仿真

• 作者: 彭佳 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 看板 晶圆厂 拉式派工法 返工 Extend仿真
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 现代管理
• 页码范围: 208-212
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 4248字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.03.007

摘要

看板是实现拉式派工的有效工具,它可以用于晶圆制造厂清洗区和炉管区之间的动态派工.用Extend仿真建模软件建立了有"重入特性"的晶圆厂仿真模型.通过晶圆厂仿真模型进行模拟,结果显示看板可以解决晶圆生产在清洗工艺后存在违反"等待时间限制"的情况,可以显著提高炉管设备的利用率,并且明显降低产品的生产周期时间.