凹球面网栅激光直写实时控制方法

• 作者: 梁凤超 续志军 胡君
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 凹球面网栅 激光直写 实时控制 PMAC DPRAM
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件与系统
• 页码范围: 128-131
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.04.028

摘要

提出一种基于DuaI-Ported RAM(DPRAM)的凹球面网栅激光直写实时控制方法.采用计算机与PMAC双CPU主从并行、双向通讯和即存即取的控制方法,开发了多层嵌套并行工作程序,使计算机与PMAC实时处理、交换、显示大量控制参数和状态信息,实现了实时控制激光直写凹球面网栅.在口径200 mm、半径150 mm的涂覆感光胶玻璃凹球面基底上,激光直写出了100 μm周期网栅.微米级读数显微镜测量结果表明,网栅均匀,周期误差小于±3%,达到设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	续志军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	572	14.0	22.0
2	胡君	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	50	420	12.0	17.0
3	梁凤超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	38	4.0	5.0