微机械继电器的研究及进展

• 作者: 刘本东 李德胜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微继电器 微驱动器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 88-92,110
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.02.007

摘要

对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析,介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸,并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德胜	北京工业大学机电学院	78	461	14.0	16.0
2	刘本东	北京工业大学机电学院	12	80	4.0	8.0