激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法

• 作者: 王肇志 罗正全 胡松 赵立新
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电码盘 扇区掩模 高斯光斑 聚焦扫描
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 2601字
• 语种: 中文

摘要

为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,取消了传统码盘光刻的精缩物镜和穿孔带.同时,扫描光斑远大于直写光斑,大大提高了加工效率.阐述了高斯光斑的腰束半径与扫描步距的关系,分析了扫描场能量分布的不均匀度,并给出了曝光实验的光刻效果.结果表明,该方法能够满足光电码盘的制作要求,成功地取代了光电码盘的传统制作方法,具有很好的工程应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	赵立新	中国科学院光电技术研究所	38	346	12.0	17.0
3	罗正全	中国科学院光电技术研究所	18	69	5.0	7.0
4	王肇志	中国科学院光电技术研究所	9	49	4.0	6.0