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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
半导体制冷技术原理与应用
半导体
制冷技术
原理
应用
半导体制造系统优化调度模型的分解和简化方法
半导体制造
仿真调度
优化调度
基于半导体制冷技术的恒温控制仿真
半导体制冷
恒温控制
强制对流
热交换
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 2007年技术和成本推动中国新生的半导体制造工业
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(3) 所属期刊栏目 预览
研究方向 页码范围 70
页数 1页 分类号
字数 655字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.03.018
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 尹志尧 3 2 1.0 1.0
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2007(0)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
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