电化学C-V法测量化合物半导体载流子浓度的研究进展

• 作者: 李晓云 牛萍娟 郭维廉
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学C-V法 载流子浓度 电解液
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子器件与技术
• 页码范围: 106-110
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.02.011

摘要

电化学C-V(ECV)法是当前测量化合物半导体载流子浓度分布的非常重要的方法.从ECV法的原理、设备、电解液的选择以及测量精度的保证四个方面对ECV法进行了分析和总结,对于不同材料电解液的选择提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛萍娟	天津工业大学信息与通信工程学院	123	617	13.0	17.0
2	郭维廉	天津大学电子信息学院	145	419	10.0	12.0
3	李晓云	天津工业大学信息与通信工程学院	21	75	4.0	8.0