低能氦离子注入引入的量子阱混杂带隙波长蓝移

• 作者: 周静涛 朱洪亮 王圩 王宝军 程远兵
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: He+离子注入 低能量 量子阱混杂 蓝移 FP腔激光器
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TN047
• 字数: 3229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.01.010

摘要

提出了采用低能氦离子注入多量子阱(MQW)材料和合适的快速退火条件,实现了MQW带隙波长的蓝移.用这种材料制作了FP腔激光器,与未注入器件相比,实现了37nm的激射波长蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱洪亮	中国科学院半导体研究所	32	94	6.0	7.0
2	王圩	中国科学院半导体研究所	47	124	6.0	7.0
3	王宝军	中国科学院半导体研究所	27	315	8.0	17.0
4	周静涛	中国科学院半导体研究所	5	26	4.0	5.0
5	程远兵	中国科学院半导体研究所	1	9	1.0	1.0