大型超精密机床导轨卸荷系统结构设计与测试

• 作者: 何远新 张景和 张顺国 董申 赵海潇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密机床 卸荷系统 结构设计 直线度测量
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1383-1390
• 页数: 8页
• 分类号: TH703
• 字数: 3071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.09.013

摘要

设计制造了一种新型的,适用于大型超精密机床的导轨卸荷系统.分析了卸荷系统中弹簧数量对卸荷系统性能的影响,并设计了连接卸荷浮板与导轨负荷的卸荷弹簧机构用于精确调整卸荷量的大小,并测试了卸荷弹簧的刚度.设计了卸荷浮板结构并对其在不同供气压力下的气膜厚度、气膜刚度与承载能力进行了计算,设计并校核了卸荷梁.用单尺反转法,测试了卸荷系统作用下的主导轨直线度精度,当卸荷量为1 200 kg时,主导轨直线度为0.375μm/600mm;在卸荷系统作用下,该机床加工出了φ1000 mm的铝件,表面粗糙度Ra达到了12 nm.实验结果表明,本文设计的卸荷系统机构,能够保证超精密机床主导轨达到高精度的直线度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	张景和	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	6	49	3.0	6.0
3	张顺国	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	8	101	5.0	8.0
4	赵海潇	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	1	15	1.0	1.0
5	何远新	哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所	1	15	1.0	1.0