磷扩散法制备P型ZnO薄膜

• 作者: 丁瑞钦 冯文胜 曾庆光 朱慧群 林民生 梁毅斌 梁满堂 梁达荣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磷扩散 p型ZnO薄膜 磁控溅射 异质ZnO p-n结
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 859-862
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.04.031

摘要

应用射频反应磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的n+型Si衬底上.在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散并被激活,使ZnO薄膜由n型转化为p型,从而形成p型ZnO薄膜.X射线衍射分析(XRD)证明了所制备的ZnO薄膜都是高c轴取向的六角纤锌矿结构的薄膜.电学I-V关系曲线的整流特性和空穴浓度≥1.78×1018 /cm3的霍耳效应测试结果证明了p型ZnO薄膜的形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾庆光	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	46	155	7.0	9.0
2	朱慧群	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	29	82	4.0	6.0
3	丁瑞钦	五邑大学薄膜与纳米材料研究所	29	115	6.0	9.0
4	梁满堂	五邑大学信息学院	4	10	2.0	3.0
5	林民生	五邑大学信息学院	1	3	1.0	1.0
6	冯文胜	五邑大学信息学院	1	3	1.0	1.0
7	梁毅斌	五邑大学信息学院	1	3	1.0	1.0
8	梁达荣	五邑大学信息学院	1	3	1.0	1.0