基于AFM的微注射量检测装置设计

• 作者: 傅惠南 夏继盛 邱熹程
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微注射量 原子力显微镜 悬臂 微滴 扰动
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 13-15,29
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2007.07.006

摘要

介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的微注射量检测的新方法,设计聚酯悬臂感应结构,利用原子力显微镜具有纳米级高度分辨率的特点,对聚酯悬臂在注射微滴重力作用产生的挠度进行检测,达到微滴量检测的目的.通过改进检测装置隔震系统的阻尼器结构,抑制影响微滴检测过程的低频扰动因素.最后对30pl内的微注射量进行检测试验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅惠南		51	129	6.0	7.0
2	夏继盛		3	6	2.0	2.0
3	邱熹程		3	4	1.0	1.0