角度定量化估算软光刻PDMS印章的平面变形扭曲

• 作者: 蒋欢妹 贺全国
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扭曲 PDMS印章 角度量化 硅烷修饰玻璃 软光刻技术
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 200-205,216
• 页数: 7页
• 分类号: TQ264.14|TN305.7
• 字数: 5902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.04.009

摘要

引进与平面图案变形扭曲大小相称的角度参数θ,提出了一种对软光刻技术中PDMS印章的角度平面扭曲进行定量评价的方法.聚二甲基硅氧烷(PDMS)平面印章的单个图案的平均扭曲角(绝对扭曲角θ1)和相邻图案间的扭曲角(相对扭曲角θ2)由角度参数θ的差值(θ)决定.经四种不同粘附固定处理的PDMS印章中进行角度定量估算比较,发现采用硅烷修饰的玻璃板基板制备的PDMS印章显示很强的粘附性和最小的平面变形扭曲,其绝对扭曲角度θ1为3.98×10-3,相对扭曲角θ2为1.22×10-3.研究结果表明,角度定量化估算可实现软光刻中图案平面变形扭曲的定量评价和比较,并通用于弹性印章基板筛分选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺全国	湖南工业大学绿色包装与生物纳米技术应用实验室	55	397	11.0	18.0
2	蒋欢妹	湖南工业大学绿色包装与生物纳米技术应用实验室	9	36	4.0	5.0