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摘要:
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晶圆表面缺陷在线检测研究
集成电路制造
晶圆表面缺陷检测
表面特征
主成分分析
贝叶斯概率模型
不同清洗剂与预处理时间对麻醉咽喉镜片清洗效果的影响
清洗剂
预处理时间
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表面贴装
视觉检测
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直线拟合
预处理对隔夜手术器械清洗质量的影响
手术器械
隔夜
预处理
清洗质量
手术室
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 晶圆清洗与表面预处理:从演变到革新
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(6) 所属期刊栏目 封面故事
研究方向 页码范围 24-29
页数 6页 分类号
字数 6628字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.06.019
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
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15
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