甲基丙烯酸酯光刻胶的制备与表征

• 作者: 张智慧 林保平
• 来源期刊: 江苏化工
• 学科: 工学
• 关键词: 甲基丙烯酸酯 共聚 感光高分子 光刻胶
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TQ433.4+36
• 字数: 2006字
• 语种: 中文

摘要

甲基丙烯酸树脂光刻胶是传统的光刻胶之一,具有高度的透明性及分辨率.以二氧六环为溶剂,偶氮二异丁腈为引发剂,采用了自由基溶液聚合合成了甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸酰氯三元共聚物,并利用烯丙醇制备了侧链上带有烯丙基的甲基丙烯酸酯感光高分子.用FT-IR和1HNMR图谱确认了结构,用凝胶色谱测定其相对分子质量,并从引发剂浓度、聚合温度、单体配比等方面进行讨论,同时对其光刻性能进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林保平	东南大学化学化工学院	58	465	11.0	19.0
2	张智慧	东南大学化学化工学院	1	5	1.0	1.0