基于MEMS CAD加工工艺仿真研究

• 作者: 陈勇
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 加工工艺 ACES 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 技术与应用
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 字数: 1850字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2007.03.008

摘要

在MEMS设计中需要解决工艺设计的问题,基于MEMS CAD软件对MEMS关键加工工艺进行仿真研究,对于MEMS工艺水平的提高有着重要的意义.本文首先探讨了MEMS加工工艺种类和工艺建模,然后以单晶硅各向异性腐蚀为例,借助MEMS CAD软件ACES对硅的湿法腐蚀工艺情况进行了仿真,其仿真结果对于基于MEMS CAD加工工艺进一步研究有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇	重庆市重庆邮电大学光电工程学院微电子工程重点实验室	1	2	1.0	1.0