锌离子掺杂的氧化钛薄膜的湿敏性能研究

• 作者: 侯燕飞 史志铭 宋丽丽 李巴津 金丽娜 闫龙
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钛 薄膜 湿度敏感 离子掺杂
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1995-1997
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.55|TJP212.2
• 字数: 2274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.06.005

摘要

采用溶胶-凝胶法在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量锌离子掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了锌离子掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究结果发现,较低的工作频率下元件的湿度敏感性能较好.随着锌掺杂量的增加,湿敏性能降低,表现在湿度敏感点升高,阻抗随湿度的变化幅度减小.相同掺杂量下,随着烧结温度的升高,元件的湿敏性能呈现先改善后恶化的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史志铭	内蒙古工业大学材料科学与工程学院	73	283	9.0	13.0
2	宋丽丽	内蒙古工业大学信息工程学院	22	70	4.0	7.0
3	李巴津	内蒙古工业大学信息工程学院	40	128	6.0	9.0
4	金丽娜	内蒙古工业大学材料科学与工程学院	5	25	3.0	5.0
5	闫龙	内蒙古工业大学材料科学与工程学院	4	23	3.0	4.0
6	侯燕飞	内蒙古工业大学材料科学与工程学院	3	11	2.0	3.0