非晶TiO2薄膜激光晶化

• 作者: 庞宏杰 张凯舒 王丽阁 王存山
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光晶化 TiO2薄膜 组织 性能
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 118-120
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2007.02.011

摘要

以中频孪生非平衡磁控溅射沉积设备制备的非晶氧化钛薄膜为前驱体,采用激光晶化技术实现了从非晶氧化钛到纳米氧化钛的相变过程.研究结果表明,在所选取的激光功率范围内,晶化氧化钛薄膜主要是由纳米尺度的锐钛矿和金红石所组成.随着激光功率的增大,晶化薄膜中金红石相的含量逐渐增多,晶粒尺寸逐渐增大,硬度、弹性模量及耐磨性逐渐提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王存山	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	70	758	18.0	24.0
2	王丽阁	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	7	33	3.0	5.0
3	庞宏杰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	24	3.0	4.0
4	张凯舒	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	24	3.0	4.0