串列加速器-离子注入机-透射电镜联机系统的建立

• 作者: 付德君 刘传胜 叶明生 宋搏 范湘军 郭立平 黎明
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 原位透射电子显微镜 加速器 联机装置 离子注入
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 快报
• 页码范围: 648-652
• 页数: 5页
• 分类号: TL52
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2007.06.003

摘要

建立了由2×1.7 MV串列加速器、200 kV离子注入机、H800型透射电子显微镜和联机传输系统组成的我国第1套串列加速器-离子注入机-透射电子显微镜联机装置.对主要设备进行了改造,并采取有效措施解决了联机装置的隔震问题.2台加速器和所有的真空泵都运行时,电镜仍可正常工作,观察到的图像质量不受振动影响.电镜室内样品倾斜角最大可达52°以上,离子注入不影响电镜观测,可进行离子注入的原位和实时结构研究.离子注入机输出的115 keV氮离子在电镜入口测得的束流强度达100～180 nA.初步实验已原位观察到氮离子注入导致单晶硅非晶化的过程,显示这套装置具有离子注入条件下的原位观测能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭立平	武汉大学物理学院加速器实验室	18	35	3.0	4.0
2	刘传胜	武汉大学物理学院加速器实验室	18	203	8.0	14.0
3	黎明	武汉大学物理学院加速器实验室	24	107	6.0	9.0
4	宋搏	武汉大学物理学院加速器实验室	2	6	1.0	2.0
5	叶明生	武汉大学物理学院加速器实验室	5	32	3.0	5.0
6	付德君	武汉大学物理学院加速器实验室	28	94	6.0	8.0