提拉法单晶炉室与抽真空充气系统

• 作者: 原洛渭 高利强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 直拉法 炉室 真空与充气系统
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 真空获得与系统
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TB751
• 字数: 2826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.015

摘要

炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等.直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法.本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构.然后根据压力的不同对炉室进行了分类.最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高利强		10	31	4.0	5.0
2	原洛渭		2	2	1.0	1.0