基于虚拟仪器的氦质谱检漏仪监控系统设计

• 作者: 刘雄英 李繁 黄光周
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: LabVIEW 虚拟仪器技术 氦质谱检漏仪 监控系统
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 20-22,51
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 2313字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.03.006

摘要

基于虚拟仪器技术,使用LabVIEW开发平台,设计了应用于氦质谱检漏仪的监控系统.利用计算机、数据采集卡和单片机,实现了数据存储功能,达到了自动控制检漏仪部分动作的目标.该系统提高了氦质谱检漏仪的自动化水平,提高了真空系统检漏的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光周	华南理工大学电子与信息学院	26	189	9.0	13.0
2	刘雄英	华南理工大学电子与信息学院	33	354	11.0	18.0
3	李繁	华南理工大学电子与信息学院	1	2	1.0	1.0