小型锆吸气泵在真空靶室中的应用研究

• 作者: 宋纪文 张国光 张小东 李大海 邱孟通 陈亮
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空靶室 静真空保持 锆吸气泵
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 真空获得
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TB752
• 字数: 3343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.03.012

摘要

本文主要介绍了锆吸气泵的原理,以及在真空靶室上应用锆吸气泵所获得的良好结果,为解决靶室静态真空保持问题提供新的思路和技术方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国光		16	99	4.0	9.0
2	宋纪文		8	6	2.0	2.0
3	张小东		12	43	4.0	6.0
4	陈亮		29	40	3.0	4.0
5	李大海		5	16	2.0	4.0
6	邱孟通		28	56	4.0	6.0