纳米孔径垂直腔面发射激光器的制备及特性

• 作者: 宋国峰 徐云 甘巧强 郭宝山 陈良惠 高建霞
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 近场光学 纳米孔径垂直腔面发射激光器 输出光功率 光学特性
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 265-268
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.02.024

摘要

在850 nm波长垂直腔面发射激光器的基础上制备了纳米孔径垂直腔面发射激光器.当小孔尺寸为400 nm×400 nm时,在25 mA驱动电流下,其最大输出光功率达到了0.3 mW,功率密度约为2 mW/μm2.文中介绍了纳米孔径垂直腔面发射激光器的制备工艺,并对它的光谱特性和寿命特性进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良惠	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	59	338	11.0	15.0
2	宋国峰	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	22	88	6.0	8.0
3	徐云	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	79	411	13.0	16.0
4	高建霞	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	2	4	1.0	2.0
5	郭宝山	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	5	9	2.0	2.0
6	甘巧强	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	2	4	1.0	2.0