二元光学在凸非球面零件检测中的应用

• 作者: 任涛 肖永鹏
• 来源期刊: 东北师大学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 二元光学 光学设计 非球面检测
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 131-133
• 页数: 3页
• 分类号: O435
• 字数: 1542字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1832.2007.03.027

摘要

分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验,在各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法--使用二元光学元件(CGH)作为补偿镜来检测大口径凸非球面,从而降低加工精度和减小系统体积.讨论了二元光学的原理和设计方法,并给出设计实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖永鹏	东北师范大学计算机科学学院	9	35	3.0	5.0
2	任涛	长春理工大学计算机学院	13	58	4.0	7.0