气相生长氮化铝单晶的新方法

• 作者: 刘文 孙秀明 敬守勇 杨帆 武红磊 罗飞 郑瑞生
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化铝 物理气相传输 单晶
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O782
• 字数: 1870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.001

摘要

通过在钨坩埚盖开小孔的方法改变氮化铝结晶衬底上的温度场分布,在开孔处形成局部低温区;由于孔的几何尺寸的限制和氮化铝晶体生长的各向异性,开孔处的氮化铝晶体单晶化;随后,开孔处的单晶起籽晶的作用,逐渐长成较大尺寸、较高质量的氮化铝单晶.目前用该方法已经制备出直径大于2mm的氮化铝单晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑瑞生	深圳大学光电子学研究所	14	70	5.0	8.0
2	武红磊	深圳大学光电子学研究所	9	42	4.0	6.0
3	罗飞	深圳大学光电子学研究所	4	19	2.0	4.0
4	孙秀明	深圳大学光电子学研究所	5	17	2.0	4.0
5	刘文	深圳大学光电子学研究所	29	73	5.0	7.0
6	敬守勇	深圳大学光电子学研究所	11	45	4.0	6.0
7	杨帆	深圳大学光电子学研究所	11	34	4.0	5.0