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电致动聚合物驱动的无阀微泵的设计与制作
电致动聚合物
微泵
结构设计
正弦波激励过程中无阀压电微泵流量的研究
微泵
微电子机械系统
MEMS
聚二甲基硅氧烷
PDMS
流量测试
频率
无阀压电泵驱动的集成式微混合器
集成式微混合器
无阀压电泵
等效电路模型
压电微悬臂梁探针的制作工艺研究
压电探针
局部压电层
纳米硅尖
弹性常数
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 电磁驱动无阀并联微泵的设计与制作工艺
来源期刊 上海大学学报(英文版) 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2007,(1) 所属期刊栏目 机电工程
研究方向 页码范围 79-83
页数 5页 分类号 TH3
字数 语种 英文
DOI
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