MgO单晶基片上YBCO高温超导薄膜的制备

• 作者: 熊杰 邱旸 陶伯万
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 工学
• 关键词: YBCO超导薄膜 MgO 高温退火
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 110-113
• 页数: 4页
• 分类号: TM2
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2007.02.006

摘要

在2英寸MgO(001)单晶基片上,采用直流溅射法,通过基片高温退火,成功制备了性能优越的YBa2C3O7-δ(YBCO)双面超导薄膜,能够满足超导滤波器的设计要求.X射线衍射(XRD)分析表明经过退火的基片上生长的YBCO薄膜与基片有单一的外延取向关系;用原子力显微镜(AFM)和高能电子衍射(RHEED)分析高温退火对基片表面状况的改变.结果表明制备的YBCO薄膜具有很好的超导电性,薄膜临界电流密度Jc(77K,0T)≈2.5×106A/cm2,微波表面电阻Rs(10GHz,77K)≈0.16mΩ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊杰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	41	205	6.0	12.0
2	陶伯万	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	39	165	5.0	10.0
3	邱旸	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	3	1.0	1.0