栅耦合型静电泄放保护结构设计

• 作者: 吉利久 孙磊 张兴 张钢刚 王源 贾嵩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 静电泄放 栅耦合 金属氧化物半导体场效应管 压焊块电容
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 7242-7247
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 2360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.072

摘要

提出了一种新型栅耦合型静电泄放(ESD)保护器件--压焊块电容栅耦合型保护管.该结构不仅解决了原有栅耦合型结构对特定ESD冲击不能及时响应的问题,而且节省了版图面积,提高了ESD失效电压.0.5 μm标准互补型金属氧化物半导体工艺流片测试结果表明,该结构人体模型ESD失效电压超过8 kV.给出了栅耦合型ESD保护结构中ESD检测结构的设计方法,能够精确计算检测结构中电容和电阻的取值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴	北京大学微电子研究院	120	618	12.0	20.0
2	贾嵩	北京大学微电子研究院	19	79	5.0	8.0
3	吉利久	北京大学微电子研究院	47	298	11.0	15.0
4	孙磊	北京大学微电子研究院	21	170	7.0	12.0
5	王源	北京大学微电子研究院	20	87	5.0	9.0
6	张钢刚	北京大学微电子研究院	9	16	3.0	3.0