非制冷红外微测辐射热计有限元模型的构建

• 作者: 吕宇强 杨海波 甄志成 胡明
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微桥结构 微测辐射热计 红外成像
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器理论及工艺
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN362
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.016

摘要

根据微加工条件能够制造的单层和双层结构的非制冷红外微测辐射热计的尺寸,进行了有限元建模与分析,寻找出在可接受的性能与成本之间折衷的设计方案,指出气体热导是影响探测单元热导的一个主要因素,并对其进行了理论分析,给出减小气体热导的方法及这些方法在双层及单层结构中应用的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	杨海波	天津大学电子信息工程学院	13	72	4.0	8.0
3	吕宇强	天津大学电子信息工程学院	11	99	5.0	9.0
4	甄志成	天津大学电子信息工程学院	2	2	1.0	1.0