单管压电扫描器建模方法的研究及标定精度分析

• 作者: 严大勤 周兵 孙鑫 费敏锐
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 建模 仿真 压电陶瓷管 扫描探针显微镜 精度
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TM930
• 字数: 2469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2394.2007.07.020

摘要

文章对扫描探针显微镜中的单管压电执行器在x-y平面扫描的电压-位移特性进行了物理和数据分析,提出了一种新的基于采集数据的建模方法.仿真及实验证明,建立的模型能有效的消除扫描速度、扫描角度、非正交和耦合误差,提高了精度.避免了建模时对压电陶瓷内部机理(极化等)的分析,使模型参数的个数降低到很少,并对其标定精度进行了分析.该方法是一种在工程实践中非常实用的建模方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费敏锐	上海大学机电与自动化学院	190	1882	20.0	34.0
2	周兵	上海大学机电与自动化学院	5	7	2.0	2.0
3	孙鑫	上海大学机电与自动化学院	28	482	11.0	21.0
4	严大勤	上海大学机电与自动化学院	2	29	2.0	2.0