微气压传感器测试系统的真空自动控制研究

• 作者: 唐祯安 张五金 金仁成 陈涛
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微气压传感器 真空度平衡 实时控制 模糊PID控制
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器系统及信号处理
• 页码范围: 457-460
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.141

摘要

针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统.参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10～1000Pa的实时气压控制问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	142	1281	17.0	29.0
2	陈涛	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	22	335	11.0	18.0
3	金仁成	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	37	224	9.0	13.0
4	张五金	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	21	3.0	3.0