溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜

• 作者: 姚文杰 张光胜 韦美琴
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 铝离子掺杂 c轴择优取向 光电性能 氧化锌薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2007.04.012

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在普通玻璃片上制备了掺铝氧化锌薄膜.通过X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明:用溶胶-凝胶法制得的掺铝氧化锌薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,表面均匀、致密.通过紫外-可见透射光谱(UV)和标准四探针法对薄膜的光电性能进行了研究.试验发现,当铝离子掺杂浓度为4%(摩尔分数)、溶胶物质的量浓度为0.6mol/L、前处理温度为300℃时,薄膜在可见光区的透过率超过80%,且具有较好的导电性,电阻率为8.0×10-4Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张光胜	安徽工程科技学院机械系	42	206	9.0	12.0
2	韦美琴	安徽工程科技学院机械系	4	33	3.0	4.0
3	姚文杰		2	23	1.0	2.0