基于原子力显微镜的PMMA飞秒激光纳米加工

• 作者: 周明 朱兰芳 王翔 言峰 陈宇航 黄文浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米加工 局域场增强 PMMA
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1959-1962
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TH742.9
• 字数: 1684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.12.021

摘要

介绍了一种基于原子力显微镜(AFM)的激光近场增强纳米加工方法.探讨了作为主要影响因素的激光场增强效应,用时域有限差分法对AFM探针下光场的空间分布进行了数值分析.研究了飞秒激光入射到AFM探针的PMMA材料的图形化,在PMMA材料表面加工了不同宽度的线条和字母.利用AFM对所得纳米图形进行了原位测试.在激光参数未经优化的情况下,其线宽可达100 nm,超过了实验室飞秒激光远场加工的分辨能力(200 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周明	江苏大学材料科学和工程学院	105	1124	19.0	29.0
2	陈宇航	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	20	96	6.0	8.0
3	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
4	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
5	言峰	江苏大学材料科学和工程学院	4	47	3.0	4.0
6	朱兰芳	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	11	1.0	1.0