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电学特性
改性机理
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 电介质刻蚀工艺简介
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(1) 所属期刊栏目 综合报道
研究方向 页码范围 56
页数 1页 分类号
字数 1437字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.01.021
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 任伟 1 3 1.0 1.0
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相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
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