真空管道TiN膜热出气率实验研究

• 作者: 尉伟 张耀锋 王勇 王建平 耿会平 范乐
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 热出气率 TiN膜 真空材料 表面处理
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 真空材料
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.8|TB771
• 字数: 3464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.015

摘要

简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	507	5142	33.0	48.0
2	张耀锋	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	4	20	3.0	4.0
3	尉伟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	21	104	7.0	9.0
4	王建平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	1069	13.0	31.0
5	范乐	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	12	56	6.0	7.0
6	耿会平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	5	8	2.0	2.0