激光量块干涉测量中传感器的应用和校准

• 作者: 葛爱明 蒋秀兰
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 量块 激光干涉仪 传感器 校准
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 3156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2007.03.002

摘要

本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法.这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛爱明	复旦大学光源与照明工程系	9	27	3.0	5.0
2	蒋秀兰		8	21	3.0	4.0