ZAO薄膜的光电特性与应用前景

• 作者: 付恩刚 庄大明 张弓 杨伟方
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: ZAO薄膜 磁控溅射 电阻率 透过率
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.010

摘要

综述了ZAO透明导电薄膜的光电特性及其导电机理、制备技术与研究现状,认为ZAO薄膜在平板显示、太阳能电池和低辐射器件领域具有广泛的应用前景,要达到工业应用还需对一些关键问题进行系统的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	付恩刚	清华大学机械工程系	5	127	5.0	5.0