KDP晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析

• 作者: 吴东江 康仁科 曹先锁 王奔 王强国 高航
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: KDP晶体 损伤检测 裂纹形状 裂纹深度
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1721-1726
• 页数: 6页
• 分类号: O786
• 字数: 3499字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.11.014

摘要

采用截面显微法和择优蚀刻法分别对磷酸二氢钾(KDP)晶体从线切割样品制备到磨削、抛光亚表面损伤进行检测,利用OLYMPUS MX40光学显微镜对表面腐蚀现象与亚表面裂纹形状进行观测,并对裂纹深度进行测量.结果表明,由线切割产生的亚表面损伤裂纹形状以"斜线状"为主,裂纹深度最大值为85.59 μm;由#600砂轮磨削产生的亚表面损伤深度最大值为8.55 μm.在(001)晶面出现了四方形的分布密度较高的位错腐蚀坑;而在三倍频晶面上出现的是密度较低、形状类似梯形的位错腐蚀坑.该研究为KDP晶体亚表面损伤提供了一种检测与分析手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康仁科	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	165	2562	24.0	44.0
2	吴东江	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	63	533	14.0	20.0
3	高航	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	69	830	18.0	26.0
4	王奔	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	10	321	10.0	10.0
5	曹先锁	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	128	4.0	4.0
6	王强国	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	103	3.0	3.0