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SMI出售首台淀积SiC体材料的CVD设备
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摘要：
推荐文章
C/SiC复合材料与CVD SiC涂层的结合性能研究
C/SiC复合材料
热膨胀系数
匹配
CVDSiC涂层
CVD法制备SiC先进陶瓷材料研究进展
CVD
SiC先进陶瓷
进展
CVD-SiC界面改性涂层对气相渗硅制备Cf/SiC复合材料力学性能的影响
CVD SiC
界面改性涂层
气相渗硅
Cf/SiC复合材料
力学性能
不同碳基体CVD SiC涂层的制备及其微观结构研究
CVD
SiC
微观结构
SiC晶须
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2007(0)
- 参考文献(0)
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研究主题发展历程
节点文献
CVD
SMI
SIC
光学中心
动态分析
涡轮泵
氧化物膜
工业公司
实时监控
合作设计
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
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